FTIR spektrometrijas pielietošana silīcija apstrādes tehnoloģijas novērtēšanai

Abstract

KEPP EU AS tiek attīstīta un pilnveidota inovatīva silīcija attīrīšanas iekārta. Procesa gaitā izkausētā silīcija masā nonāk skābekļa, oglekļa, vara un alumīnija piemaisījumi, kuru koncentrācijas mazināšanai radītas jaunas iekārtas. Darba mērķis ir pārbaudīt attīrīšanas procesu uzlabojumu ietekmi uz iegūstamā silīcija tīrību, veicot iegūto silīcija kristālu piemaisījumu analīzi ar Furjē transformācijas infrasarkanās spektrometrijas palīdzību. Darbā tiek aplūkotas arī alternatīvās silīcija attīrīšanas metodes, alternatīvās piemaisījumu analīzes metodes, tiek noskaidrotas skābekļa un oglekļa piemaisījumu koncentrācijas analizētajos silīcija paraugos un analizēti to avoti. Iegūtie rezultāti parāda, ka uzņēmuma veiktie procesa uzlabojumi ļauj samazināt skābekļa koncentrāciju silīcija kristālos vairāk nekā 15 reizes.

KEPP EU AS is developing and upgrading inovative silicon purification equipment. During the purification process oxygen, carbon, cooper and aluminium impurities are incorporated in melted silicon. To lower their concentration has been developed new equipment. The purpose of this paper is to test purification process improvements on silicon purity by means of silicon crystal Fourier transform infrared spectrometry analysis of impurities. In paper are viewed alternative silicon purification methods, alternative impurities detection methods, obtained oxygen and carbon impurities concentrations in analysed silicon examples and analysed their sources. Obtained results show that companies improvements helps reduce oxygen concentration in silicon crystals more than 15 times.