ПросмотрBakalaura un maģistra darbi (FMOF) / Bachelor's and Master's theses по теме "Magnetrons"
Отображаемые элементы 1-1 из 1
-
Magnētiskā lauka modelēšana planāra magnetrona gadījumā
(Latvijas Universitāte, 2016)Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu ...