SU-8 viļņvadu izveide ar tiešā ieraksta lāzera litogrāfijas tehniku un to optisko īpašību raksturošana - Liniņa, Elza Līna (Latvijas Universitāte, 2016)
Kopš 20.gs. beigām lieli pūliņi ieguldīti telekomunikāciju attīstībā, arvien tiek meklēti jauni materiāli, lai aizvietotu elektroniskās komponentes integrētajās shēmās, jo tās ir ierobežojošais faktors informācijas pārvades ātrumam. Viens no risinājumiem būtu veidot shēmas, kas satur tikai optiskās komponentes. Optisko komponenšu pamatā ir viļņvadi, kuriem jābūt ar noteiktām optiskām īpašībām. Viena no perspektīvākajām materiālu klasēm pielietojumiem fotoniskās integrālās shēmās ir organiskie materiāli. Darbā aprakstīta tīru un funkcionalizētu organisku SU 8 viļņvadu izgatavošana ar tiešā ieraksta lāzera litogrāfijas tehniku. Ir aprakstīti viļņvadu izgatavošanas soļi un metodes ierobežojumi. Viļņvadu raksturošanai izmantotas optiskās un mikroskopijas metodes.

Since the end of 20th century a lot of effort has been put into the development of telecommunication systems. Until this day people are researching the properties of new materials with the hope to replace electronic components in circuits with photonic components, because electronic components are the limiting factor of fast broadband communication. The basic building blocks of photonic circuits are waveguides with the appropriate optical characteristics. One of the most promising materials for an all-photonic integrated circuit seem to be organic polymers. This work covers the production of pure as well as functionalized organic SU 8 waveguides with direct write laser lithography technique. The production process is discussed in detail as well as the limitations of the method. Optical and microscopy methods are implemented to characterize the produced waveguide structures.
Fabrication and characterization of SU-8 optical waveguides using direct write laser lithography
Keywords: Fizika; direct write lithography; optical waveguide; SU-8; electro-optic polymer