Fotohromo YHO plāno kārtiņu izgatavošana ar magnetrono izputināšanu un to izpēte

Abstract

Bakalaura darba mērķis ir izgatavot fotohromās YHO plānās kārtiņas, izmantojot HiPIMS metodi, un salīdzināt to fotohromās, optiskās īpašības, struktūru un adhēziju ar YHO plānajām kārtiņām, kuras izgatavotas ar p-DCMS metodi. Tika izgatavotas divas YHO plāno kārtiņu sērijas, variējot izgatavošanas spiedienu un biezumu. Plāno kārtiņu fizikālās īpašības tika pētītas ar rentgenstaru difrakciju, ske nējošo elektronu mikroskopiju, elipsometriju, optisko spektrofotometriju un pašbūvētu fotohromo īpašību mērīšanas sistēmu. Rezultāti norāda, ka ar HiPIMS metodi ir iespējams iegūt fotohromas YHO plānās kārtiņas, taču gan fotohromās īpašības, gan noturība uz pamatnes ir sliktākas nekā kār tiņām, kas izgatavotas p-DCMS režīmā. Fotohromās īpašības ir iespējams ievērojami uzlabot, palielinot temperatūru p-DCMS procesā līdz 200°C.

The aim of the bachelor thesis is to prepare photochromic YHO thin films using the HiPIMS method and to compare their photochromic, optical properties, structure and adhesion with YHO thin films made by the p-DCMS method. Two series of YHO thin films were prepared by varying the pressure and thickness. The physical properties of the thin films were investigated by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, ellipsometry, optical spectrophotometry and a self-built photochro mic property measurement system. The results indicate that it is possible to obtain photochromic YHO thin films by the HiPIMS method, but both the photochromic properties and the stability on the substrate are worse than those made in the p-DCMS mode. The photochromic properties can be significantly improved by increasing the temperature in the p-DCMS process to 200°C.