Magnētiskā lauka modelēšana planāra magnetrona gadījumā
Abstract
Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu magnētiskā lauka konfigurāciju modelēšanā izmantota programma ELCUT. Ir atrasta magnētu konfigurācija, kas varētu palielināt magnetrona lietderības koeficientu. Darba ietvaros tika izstrādāta instrukcija magnētiskā lauka modelēšanai ar programmu ELCUT. Darbā tika pētīta magnētiskā lauka konfigurācija planārā magnetronā, mainot magnētu izvietojumu, kā arī salīdzināti reālu magnetronu magnētiskā lauka indukcijas mērījumi ar programmas ELCUT aprēķinātajām vērtībām. Programmā ELCUT modelētie magnetronu modeļi izrādīja labu atbilstību reālajiem magnetroniem, tāpēc ELCUT var izmantot jaunu konfigurāciju magnetronu projektēšanā. Darbā ir 58 lappuses, 16 attēli, 7 tabulas un 2 pielikumi, izmantoti 20 literatūras avoti. Atslēgvārdi: ELCUT, magnetrons, magnētiskais lauks, galīgo elementu metode The biggest disadvantage of magnetron sputtering is the low useful use of target material. To increase efficiency, plasma zones, which are directly influenced by magnetrons’ magnetic field, have to be enlarged. Program ELCUT is used to model different magnetic field configurations. A magnet configuration has been found, which could possibly enhance the efficiency coefficient of magnetron. Instruction manual for modeling magnetic field with ELCUT was developed. Magnetic field configuration in planar magnetron with different magnet placement was investigated. Real magnetron magnetic field induction values were compared to those returned from ELCUT. Magnetron models modeled in ELCUT showed good fit with real magnetrons. so it was concluded that ELCUT has potential use in new configuration magnetron designing. Work contains 58 pages, 16 illustrations, 7 tables and 2 annexes, 20 literature sources were used. Keywords: ELCUT, magnetron, magnetic field, finite element method.