Tjarve, Jānis (Latvijas Universitāte, 2016)
Magnetronputināšanas lielākais trūkums ir zemais mērķa materiāla izlietošanas koeficients. Lai palielinātu lietderību, ir jāpalielina plazmas zonas, to lielumu tieši ietekmē magnetrona magnētiskā lauka konfigurācija. Dažādu ...